何为程控伺服型匀胶机

AC200-SE程控伺服匀胶机

性能特点：

1.两种型号可选：AC200-SE（标准型）和AC200-PE（型）

2.内部紧凑设计，缩小设备尺寸，7寸触屏控制面板操作系统，更方便操作

3.标准配置转速10000rpm，可根据用户需求进行定制，

4.工业级伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部

5.机身选用耐腐蚀不锈钢，内腔采用耐腐蚀HDPE材料，排风和抽气系统位于载片台底部（利于排风效率和匀胶一致性）

6.透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时*隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气体的散发

技术参数：

程序设定：可存储100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒

转动速度：0-10000rpm（高速可定制）

旋涂加速度：0-50000rpm/see（空载）

马达旋涂转速稳定性误差：小于正负1rpm（AC200-SE）;0.1rpm（AC200-PE）

工艺时间设定：0-3000sec/step，

时间设置精度：0.1sec

支持wafer尺寸：碎片至200mm

旋涂作业均匀性：小于正负3%在6英寸范围内

外形尺寸：433*306*306