您好,欢迎进入北京铭成基业科技有限公司网站!
一键分享网站到:
您现在的位置:首页 >> 技术文章 >> 何为程控伺服型匀胶机

何为程控伺服型匀胶机

浏览次数:50发布日期:2020-09-21

AC200-SE程控伺服匀胶机

性能特点:

1.两种型号可选:AC200-SE(标准型)和AC200-PE(高端型)

2.内部紧凑设计,缩小设备尺寸,7寸触屏控制面板操作系统,更方便操作

3.标准配置转速10000rpm,可根据用户需求进行定制,

4.工业级伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部

5.机身选用耐腐蚀不锈钢,内腔采用耐腐蚀HDPE材料,排风和抽气系统位于载片台底部(利于排风效率和匀胶一致性)

6.透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气体的散发

技术参数:

程序设定:可存储100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒

转动速度:0-10000rpm(高速可定制)

旋涂加速度:0-50000rpm/see(空载)

马达旋涂转速稳定性误差:小于正负1rpm(AC200-SE);0.1rpm(AC200-PE)

工艺时间设定:0-3000sec/step,

时间设置精度:0.1sec

支持wafer尺寸:碎片至200mm

旋涂作业均匀性:小于正负3%在6英寸范围内

外形尺寸:433*306*306

    QQ在线客服
  •   在线咨询
  • 点击这里给我发消息
电话
86-010-60211763
手机
18910675552